METODĂ DE SINTEZĂ DE MATERIALE PURE PRIN ABLAŢIE LASER ÎN FLUX DIRECT DIN ŢINTE MULTIPLE NEPARALELE

Prețul nu e vizibil în cazul acestui pachet

Interes:

Atribuire

Informații publicare:

Nr.: RO128918

Data: 30.10.2013

Inventator(i):

LUCULESCU ROMEO CATALIN [RO]

MORJAN ION [RO]

POPOVICI ERNEST [RO]

Aplicant(i):
INST NAT PENTRU FIZICA LASERILOR [RO]
Clasificare:
Clasificare internationala (IPC):
B01J19/08; B82Y30/00; C23C14/28

Clasificare comuna (CPC):
Informații aplicație:
Nr.: RO20120000936
Data: 04.12.2012
Număr/numere prioritar(e):
RO20120000936 04.12.2012
Brevete asociate:
RO128918
BOPI:
Descriere:

Invenţia se referă la o metodă de sinteză de materiale pure prin ablaţie laser, în flux direct, din ţinte multiple neparalele, destinată a fi folosită în industria electronică, pentru depunerea de filme subţiri, cât şi pentru sinteza de materiale nanometrice. Metoda conform invenţiei constă în ablaţia laser simultană a mai multor ţinte neparalele, în confinarea plasmelor de ablaţie într-o direcţie diferită decât cea iniţială, şi în trecerea plasmei de ablaţie rezultante sau a precursorilor acesteia printr-o trapă cu apertură sau aperturi reglabile.