METODĂ DE SINTEZĂ DE MATERIALE PURE PRIN ABLAŢIE LASER ÎN FLUX DIRECT DIN ŢINTE MULTIPLE NEPARALELE
Prețul nu e vizibil în cazul acestui pachet
Atribuire
Nr.: RO128918
Data: 30.10.2013
LUCULESCU ROMEO CATALIN [RO]
MORJAN ION [RO]
POPOVICI ERNEST [RO]
Descriere:
Invenţia se referă la o metodă de sinteză de materiale pure prin ablaţie laser, în flux direct, din ţinte multiple neparalele, destinată a fi folosită în industria electronică, pentru depunerea de filme subţiri, cât şi pentru sinteza de materiale nanometrice. Metoda conform invenţiei constă în ablaţia laser simultană a mai multor ţinte neparalele, în confinarea plasmelor de ablaţie într-o direcţie diferită decât cea iniţială, şi în trecerea plasmei de ablaţie rezultante sau a precursorilor acesteia printr-o trapă cu apertură sau aperturi reglabile.