METODĂ DE SINTEZĂ DE MATERIALE PURE PRIN ABLAŢIE LASER ÎN FLUX DIRECT DIN ŢINTE MULTIPLE NEPARALELE
Price not visible for this package
Assignment
No.: RO128918
Date: 30.10.2013
LUCULESCU ROMEO CATALIN [RO]
MORJAN ION [RO]
POPOVICI ERNEST [RO]
Description:
Invenţia se referă la o metodă de sinteză de materiale pure prin ablaţie laser, în flux direct, din ţinte multiple neparalele, destinată a fi folosită în industria electronică, pentru depunerea de filme subţiri, cât şi pentru sinteza de materiale nanometrice. Metoda conform invenţiei constă în ablaţia laser simultană a mai multor ţinte neparalele, în confinarea plasmelor de ablaţie într-o direcţie diferită decât cea iniţială, şi în trecerea plasmei de ablaţie rezultante sau a precursorilor acesteia printr-o trapă cu apertură sau aperturi reglabile.