METODĂ DE SINTEZĂ DE MATERIALE PURE PRIN ABLAŢIE LASER ÎN FLUX DIRECT DIN ŢINTE MULTIPLE NEPARALELE

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO128918

Date: 30.10.2013

Inventor(s):

LUCULESCU ROMEO CATALIN [RO]

MORJAN ION [RO]

POPOVICI ERNEST [RO]

Applicant(s):
INST NAT PENTRU FIZICA LASERILOR [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
B01J19/08; B82Y30/00; C23C14/28

Cooperative patent classification (CPC):
Application info:
No.: RO20120000936
Date: 04.12.2012
Priority number(s):
RO20120000936 04.12.2012
Related patents:
RO128918
BOPI:
Description:

Invenţia se referă la o metodă de sinteză de materiale pure prin ablaţie laser, în flux direct, din ţinte multiple neparalele, destinată a fi folosită în industria electronică, pentru depunerea de filme subţiri, cât şi pentru sinteza de materiale nanometrice. Metoda conform invenţiei constă în ablaţia laser simultană a mai multor ţinte neparalele, în confinarea plasmelor de ablaţie într-o direcţie diferită decât cea iniţială, şi în trecerea plasmei de ablaţie rezultante sau a precursorilor acesteia printr-o trapă cu apertură sau aperturi reglabile.