SUPORT DE SUBSTRATURI, PENTRU DEPUNEREA ÎN CÂMPMAGNETIC A STRATURILOR SUBŢIRI, PRIN PULVERIZAREREACTIVĂ MAGNETRON

Prețul nu e vizibil în cazul acestui pachet

Interes:

Atribuire

Informații publicare:

Nr.: RO122100

Data: 30.12.2008

Inventator(i):

BRAIC MARIANA [RO]

BRAIC VIOREL [RO]

B EL ECEANU MIHAI [RO]

Aplicant(i):
INSTITUTUL NATIONAL ICCF [RO]
Clasificare:
Clasificare internationala (IPC):
C23C14/35

Clasificare comuna (CPC):
Informații aplicație:
Nr.: RO20040000699
Data: 06.08.2004
Număr/numere prioritar(e):
RO20040000699 06.08.2004
Descriere:

Invenţia se referă la un suport de substraturi,pentru depunerea în câmp magnetic a straturilorsubţiri de nitruri, oxizi şi carburi metalice, precum şi combinaţii ale acestora, prin pulverizare reactivă magnetron. Suportul conform invenţiei este constituit dintr-un disc (A) solidar legatsau nu de nişte substraturi, pe care sunt montaţi, axial sau radial, nişte magneţi permanenţi,al căror număr este egal cu 4, 5, 6, 8, 10 sau12, astfel încât polul N al câmpului magnetic să fie îndreptat spre suprafaţa stratului în creştere.