SUPORT DE SUBSTRATURI, PENTRU DEPUNEREA ÎN CÂMPMAGNETIC A STRATURILOR SUBŢIRI, PRIN PULVERIZAREREACTIVĂ MAGNETRON
Prețul nu e vizibil în cazul acestui pachet
Atribuire
Nr.: RO122100
Data: 30.12.2008
BRAIC MARIANA [RO]
BRAIC VIOREL [RO]
B EL ECEANU MIHAI [RO]
Descriere:
Invenţia se referă la un suport de substraturi,pentru depunerea în câmp magnetic a straturilorsubţiri de nitruri, oxizi şi carburi metalice, precum şi combinaţii ale acestora, prin pulverizare reactivă magnetron. Suportul conform invenţiei este constituit dintr-un disc (A) solidar legatsau nu de nişte substraturi, pe care sunt montaţi, axial sau radial, nişte magneţi permanenţi,al căror număr este egal cu 4, 5, 6, 8, 10 sau12, astfel încât polul N al câmpului magnetic să fie îndreptat spre suprafaţa stratului în creştere.