SUPORT DE SUBSTRATURI, PENTRU DEPUNEREA ÎN CÂMPMAGNETIC A STRATURILOR SUBŢIRI, PRIN PULVERIZAREREACTIVĂ MAGNETRON

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO122100

Date: 30.12.2008

Inventor(s):

BRAIC MARIANA [RO]

BRAIC VIOREL [RO]

B EL ECEANU MIHAI [RO]

Applicant(s):
INSTITUTUL NATIONAL ICCF [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
C23C14/35

Cooperative patent classification (CPC):
Application info:
No.: RO20040000699
Date: 06.08.2004
Priority number(s):
RO20040000699 06.08.2004
Description:

Invenţia se referă la un suport de substraturi,pentru depunerea în câmp magnetic a straturilorsubţiri de nitruri, oxizi şi carburi metalice, precum şi combinaţii ale acestora, prin pulverizare reactivă magnetron. Suportul conform invenţiei este constituit dintr-un disc (A) solidar legatsau nu de nişte substraturi, pe care sunt montaţi, axial sau radial, nişte magneţi permanenţi,al căror număr este egal cu 4, 5, 6, 8, 10 sau12, astfel încât polul N al câmpului magnetic să fie îndreptat spre suprafaţa stratului în creştere.