SUPORT DE SUBSTRATURI, PENTRU DEPUNEREA ÎN CÂMPMAGNETIC A STRATURILOR SUBŢIRI, PRIN PULVERIZAREREACTIVĂ MAGNETRON
Price not visible for this package
Assignment
No.: RO122100
Date: 30.12.2008
BRAIC MARIANA [RO]
BRAIC VIOREL [RO]
B EL ECEANU MIHAI [RO]
Description:
Invenţia se referă la un suport de substraturi,pentru depunerea în câmp magnetic a straturilorsubţiri de nitruri, oxizi şi carburi metalice, precum şi combinaţii ale acestora, prin pulverizare reactivă magnetron. Suportul conform invenţiei este constituit dintr-un disc (A) solidar legatsau nu de nişte substraturi, pe care sunt montaţi, axial sau radial, nişte magneţi permanenţi,al căror număr este egal cu 4, 5, 6, 8, 10 sau12, astfel încât polul N al câmpului magnetic să fie îndreptat spre suprafaţa stratului în creştere.