ANSAMBLU ŞI METODĂ PENTRU CONTROLUL PROCESELOR DE CREŞTERE A CRISTALELOR SEMICONDUCTOARE
Prețul nu e vizibil în cazul acestui pachet
Atribuire
Nr.: RO122367
Data: 30.04.2009
NEGRIL E CONSTANTIN C ET ELIN [RO]
IUGA ALIN [RO]
GHI E RODICA [RO]
CERNEA MARIN [RO]
LOGOF ETU CONSTANTIN [RO]
MANEA TEFAN ADRIAN [RO]
L EZ ERESCU MIHAIL FLORIN [RO]
Descriere:
Invenţia se referă la un ansamblu şi la o metodă pentru controlul unui proces de creştere a unor monocristale semiconductoare, în condiţiile solidificării în gradient termic. Ansamblul conform invenţiei este alcătuit dintr-un sistem de încălzire inductiv (1), din nişte senzori de măsurare şi un lanţ de măsurare, înregistrare şi prelucrare a semnalelor. Metoda conform invenţiei, aplicată în cadrul ansamblului, cuprinde măsurarea conductivităţii electrice induse în probă de către un senzor (6), la aceeaşi temperatură conductivitatea electrică a lichidului fiind mai mare decât cea a solidului, iar prin sesizarea momentului topirii complete a şarjei şi sesizarea iniţierii procesului de solidificare, are loc monitorizarea creşterii cristalelor.