ANSAMBLU ŞI METODĂ PENTRU CONTROLUL PROCESELOR DE CREŞTERE A CRISTALELOR SEMICONDUCTOARE

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO122367

Date: 30.04.2009

Inventor(s):

NEGRIL E CONSTANTIN C ET ELIN [RO]

IUGA ALIN [RO]

GHI E RODICA [RO]

CERNEA MARIN [RO]

LOGOF ETU CONSTANTIN [RO]

MANEA TEFAN ADRIAN [RO]

L EZ ERESCU MIHAIL FLORIN [RO]

Applicant(s):
INSTITUTUL NATIONAL ICCF [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
C30B1/02; H05B6/24

Cooperative patent classification (CPC):
Application info:
No.: RO20030000968
Date: 27.11.2003
Priority number(s):
RO20030000968 27.11.2003
Description:

Invenţia se referă la un ansamblu şi la o metodă pentru controlul unui proces de creştere a unor monocristale semiconductoare, în condiţiile solidificării în gradient termic. Ansamblul conform invenţiei este alcătuit dintr-un sistem de încălzire inductiv (1), din nişte senzori de măsurare şi un lanţ de măsurare, înregistrare şi prelucrare a semnalelor. Metoda conform invenţiei, aplicată în cadrul ansamblului, cuprinde măsurarea conductivităţii electrice induse în probă de către un senzor (6), la aceeaşi temperatură conductivitatea electrică a lichidului fiind mai mare decât cea a solidului, iar prin sesizarea momentului topirii complete a şarjei şi sesizarea iniţierii procesului de solidificare, are loc monitorizarea creşterii cristalelor.