Descriere:

Invenţia se referă la straturi dure de C, la straturi de interfaţă pe bază de Ti şi la un procedeu de obţinere a acestora folosind pulverizarea în plasme pulsate de mare putere, straturile formând un material dur cu duritate > 30 GPa şi stabilitate mecanică în condiţii de umiditate, temperatură şi salinitate extreme. Stratul de interfaţă conform invenţiei este constituit dintr-un strat de Ti depus direct pe suportul metalic, având o grosime cuprinsă în intervalul 50...200 nm şi o rugozitate de ordinul a 0,1...5 nm, la care se adaugă unu până la trei straturi subţiri individuale, care conţin proporţii variabile de Ti şi C. Stratul dur pe bază de C conform invenţiei formează împreună cu stratul de interfaţă un material multistrat stabil pe piesele metalice având grosimi totale de până la 2 μm, coeficient de frecare în mediul uscat cuprins între 0,05...0,2, durităţi cuprinse între 15...35 GPa şi rezistenţă structurală la şoc termic în intervalul -69...+100°C. Procedeul conform invenţiei este realizat pe piese metalice la temperaturi joase care nu depăşesc 100°C, primul strat fiind depus folosind procesul de pulverizare în curent continuu al unei ţinte de Ti în atmosferă protectoare de Ar la presiuni cuprinse între 1...2 Pa, următoarele straturi sunt obţinute prin pulverizarea simultană a unei ţinte de Ti în regim de pulverizare în curent continuu şi, respectiv, a unei ţinte de C în regim de pulverizare de mare putere, în atmosferă care conţine Ar şi acetilenă în proporţii variabile cuprinse între 0...20%, iar ultimul strat de C cu legături de tip diamantifer este obţinut prin pulverizarea unei ţinte de C în regim magnetron pulsat de mare putere, substratul fiind polarizat cu pulsuri negative de tensiune, sincronizate cu pulsurile de mare putere, în aşa fel încât tensiunea de polarizare începe să fie aplicată înaintea pulsului de mare putere, fiind aplicată pe toată durata acestuia şi pe o durată de până la de două ori durata pulsului, după terminarea acestuia.