PROCEDEU CHIMIC DE TRANSFER A GRAFENEI DE PE UN SUBSTRAT PE ALTUL

Prețul nu e vizibil în cazul acestui pachet

Interes:

Atribuire

Informații publicare:

Nr.: RO133042

Data: 30.01.2019

Inventator(i):

ŢUCUREANU VASILICA [RO]

MATEI ALINA [RO]

ŢÎNCU BIANCA CĂTĂLINA [RO]

AVRAM MARIUS ANDREI [RO]

MĂRCULESCU CĂTĂLIN VALENTIN [RO]

BURINARU TIBERIU ALECU [RO]

AVRAM MARIOARA [RO]

Aplicant(i):
INSTITUTUL NAT DE CERCETARE DEZVOLTARE PENTRU MICROTEHNOLOGIE [RO]
Clasificare:
Clasificare internationala (IPC):
B05D5/12; C01B32/182

Clasificare comuna (CPC):
B05D5/12 (RO); C01B32/182 (RO)
Informații aplicație:
Nr.: RO20170000486
Data: 18.07.2017
Număr/numere prioritar(e):
RO20170000486 18.07.2017
Brevete asociate:
RO133042
BOPI:
Descriere:

Invenţia se referă la un procedeu de transfer a grafenei crescută pe un substrat de cupru prin depunere chimică în fază de vapori (CVD) pe un alt substat. Procedeul, conform invenţiei, constă în depunerea unui film de polimetil metacrilat (PMMA) pe grafenă/substrat de cupru, urmat de tratament termic la 120°C timp de 2 min, corodarea substratului de cupru într-o soluţie de HCl:HO:HO, în prezenţă de hexan, la temperatura camerei, spălare cu apă deionizată, transferul stratului de grafenă/PMMA pe stratul de interes, urmat de tratament termic la 120°C timp de 2 h, îndepărtarea PMMA şi tratamentul final la temperatura de 180°C timp de 2 h.