Descriere:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unor matrici de nanofire de tip miez - coajă CuO şi TiO2 pe suprafaţa unor folii de Cu, nanofirele semiconductoare având aplicaţii în dezvoltarea noilor dispozitive electronice generatoare de energie, fotodetectori, diode electroluminiscente, fotocataliza, microanaliza, senzori de gaze şi alte domenii asemenea. Procedeul conform invenţiei constă în combinarea a două metode: oxidarea termică în aer care are loc într-un cuptor cu convecţie, în prezenţa oxigenului din aer, la presiune atmosferică, la o temperatură de 500°C timp de 12 ore, urmată de pulverizarea catodică cu magnetron în radiofrecvenţă RF realizată într-o atmosferă de N2, la o presiune de depunere de 4 x 1010-3 mbar, puterea aplicată pe magnetron fiind de 200 w, iar timpul de depunere este modificat de la 26 minute la 52 minute şi la 78 minute, pentru a putea obţine trei grosimi diferite a filmului de TiO2, de 10 nm, 20 nm şi respectiv 30 nm, pentru obţinerea matricilor de nanofire putând fi utilizate şi alte combinaţii de semiconductori ca de exemplu: Cu - ZnO, CuO - WO3, ZnO - CuO, ZnO - WO3 şi ZnO - TiO2.