Descriere:

Invenţia se referă la o metodă pentru creşterea performanţelor dispozitivelor piroelectrice realizate pe bază de oxid de hafniu. Metoda conform invenţiei constă în adăugarea în arhitectura unui dispozitiv piroelectric a unui strat intermediar de nitrură de aluminiu, astfel încât dispozitivul piroelectric rezultat va fi alcătuit dintr-un substrat de siliciu puternic dopat, de tip n, cu rol de electrod, acoperit cu un strat subţire de dioxid de siliciu, din stratul intermediar de nitrură de aluminiu, dintr-un strat subţire de dioxid de hafniu şi dintr-un bi-strat de titan-aur cu rol de electrod superior.