Description:

Invenţia se referă la un procedeu de fabricare a unei celule electrochimice utilizată ca senzor electrochimic, unde un număr variabil de electrozi de lucru pot fi fabricaţi din nanofire de carbon orientate perpendicular pe substrat şi contactaţi individual prin trasee metalice conductoare. Procedeul conform invenţiei constă în fabricarea electrozilor de lucru prin creşterea nanofirelor de carbon direct pe traseele conductoare folosind un substrat de Si de tip p sau n, de orientare < 100 > sau < 111 > şi rezistivitate 1...10 Ω. cm, care într-o primă fază se oxidează termic la 950°C timp de 30 minute în atmosferă umedă, în a doua fază se configurează simultan prin tehnica lift - off padurile de contactare electrică, traseele de conectare electrică şi padurile de contactare a electrozilor de lucru folosind masca M1, într-o a treia fază prin tehnica lift - off se configurează filmul catalizator pentru creşterea nanofirelor folosind masca M2, şi într-o ultimă fază se obţin electrozii de lucru fabricaţi din nanofire de carbon crescute prin tehnica depunerii chimice din fază de vapori asistată de plasmă în radiofrecvenţă la temperatura de 750°C în atmosferă de metan şi amoniac, padurile de contactare electrică, traseele de contactare electrică şi padurile de contactare a electrozilor de lucru fiind fabricate dintr-un strat multiplu format din 4 filme metalice după cum urmează: film cu grosimea de 20 nm de nitrură de Ti cu rol de barieră antidifuzie, film cu grosimea de 30 nm de Ti cu rol de aderenţă, film cu grosimea de 300 nm de Au cu rol de film electric conductor şi film cu grosimea de 20 nm de nitrură de Ti cu rol de barieră antidifuzie, nitrura de Ti având o concentraţie de azot de 14% fiind obţinută prin tehnica pulverizării catodice reactive în radiofrecvenţă.