Description:

Invenţia se referă la un procedeu de realizare a unui senzor tensiometric piezorezistiv fabricat din grafit nanocristalin pe substrat flexibil, senzorul fiind utilizat ca traductor electromecanic pentru măsurarea tensiunilor mecanice la care este supus un obiect în urma unei deformări mecanice. Procedeul conform invenţiei are următoarele etape: 1. o folie de cupru policristalin, care serveşte drept substrat de sacrificiu pentru creşterea grafitului nanocristalin, este decapată în soluţie de acid acetic timp de 10 minute, clătită în alcool izopropilic şi depozitată în alcool izopropilic sau în vid pentru a preveni oxidarea, 2. se introduce folia de cupru într-un echipament RF - PCVD în cuplaj capacitiv şi se rulează un proces de creştere a filmului de grafit nanocristalin compus din trei paşi succesivi: a. pasul de reducere în care folia este încălzită până la temperatura de creştere cuprinsă între 600...900°C în atmosferă de hidrogen şi argon în raport volumic de 1 : 20 la presiunea de 1 Torr, b. pasul de depunere a filmului de grafit nanocristalin pe folia de cupru folosind ca gaz presursor o hidrocarbură în amestec cu hidrogen şi un gaz inert, viteza de creştere fiind de 3 nm/min, şi c. pasul de relaxare în care folia de cupru este răcită de la temperatura de creştere la temperatura camerei, în vid sau la presiuni joase în gaz inert, 3. peste folia de grafit nanocristalin se întinde un adeziv precum răşina epoxidică sau cianoacrilat, 4. se transferă grafitul nanocristalin pe un substrat flexibil şi elastic prin intermediul adezivului, 5. folia de cupru se corodează în soluţie de acid azotic şi 6. structura obţinută se încapsulează într-un polimer flexibil pentru a preveni absorbţia de vapori de apă şi îmbătrânirea prematură a stratului piezorezistiv.