Description:

Invenţia se referă la un procedeu de creştere a unor structuri fotoluminescente 3D de formă sferică sau piramidală, cu emisie în două culori la temperatura camerei, pentru aplicaţii în domeniul senzorilor şi transmisiei informaţiei pe bază de fibră optică, cu diametrul comparabil cu al structurilor. Procedeul conform invenţiei constă în tratarea termică, în atmosferă gazoasă, a unor filme subţiri de oxinitrură de galiu amorfă, depuse prin bombardament ionic sau cu laser pulsat în atmosferă reactivă, pe substraturi de siliciu, şi având grosime uniformă, la o presiune moderată, urmând un regimtermic cu viteză constantă de creştere a temperaturii între 25°C şi 700°C, cu patru paliere şi viteză constantă de coborâre a temperaturii între două paliere, şi apoi până la temperatura camerei, la al treilea palier de urcare a temperaturii, pe întreaga suprafaţă a filmului formându-se insule micrometrice, cu geometrie sferică sau piramidală, în funcţie de materialul filmului, cu diametrul/înălţimea proporţională cu grosimea iniţială a filmului.