Description:

Invenţia se referă la o compoziţie de fotorezist cu sensibilizatori conţinând pământuri rare, şi la o metodă de producere a acestuia, utile în litografierea circuitelor integrate cu lumină vizibilă. Compoziţia conform invenţiei cuprinde două componente: un fotorezist sensibil la radiaţii UV/DUV/EUV şi un compus cu pământuri rare, care permit înregistrarea unei imagini la expunerea la lumină din spectrul vizibil. Metoda conform invenţiei constă într-o primă etapă de dizolvare, într-un solvent organic, a unui fotorezist sensibil la radiaţii UV/DUV/EUV, urmată de adăugarea şi amestecarea unui compus cu pământuri rare, solubil în soluţia obţinută în prima etapă, şi realizarea de straturi subţiri.