Description:

Invenţia se referă la un senzor rezistiv pe bază de straturi senzitive oxifluoronanocarbonice utilizat pentru monitorizarea umidităţii relative în spaţiile închise ale multiplelor domenii de activitate cum este cea casnică dar şi industrială, respectiv industria prelucrării lemnului şi a hârtiei, industria farmaceutică, electronică, în agricultură şi în alte domenii asemenea. Senzorul conform invenţiei este alcătuit din următoarele componente: a. un substrat dielectric construit din Si/SiO2 cu grosimea cuprinsă între 50 μ m şi 5 mm, b. electrozi metalici, cu configuraţie liniară sau interdigitată, care pot fi constituiţi din acelaşi material de Cr sau Al sau din materiale diferite şi care sunt depuşi pe suprafaţa substratului dielectric prin printare directă, pulverizare catodică sau prin evaporare şi c. un strat senzitiv constituit dintr-un film subţire de ox-CNHs-F sau ox-CNOs-F în care procentul masic de F variază între 2...5% iar cel de oxigen între 10...15% şi care se pot sintetiza din CNHs prin secvenţele: 1. tratament în plasmă de Ar-O2 şi 2. tratament în plasmă de F2-N2, şi respectiv secvenţele: 3. tratament în plasmă de F2-N2 şi 4. tratament în plasmă de Ar-O2, sau un strat senzitiv realizat din nanocompozite binare de tipul ox-CNHs-F/ox-CNOs-F în care cele două structuri nanocarbonice oxifluorurate se găsesc în raport echimasic, depunerea stratutui senzitiv pe substratul dielectric de Si/SiO2 fiind realizată din soluţie de alcool izopropilic prin metoda " drop casting ".