Description:

Invenţia se referă la un procedeu de curăţare a prafului de pe suprafeţele aflate în gaze la presiuni scăzute, în intervalul de câţiva mTorr până la zeci de Torr. Procedeul conform invenţiei constă în etapa de creare a unui jet de plasmă, prin aplicarea unei tensiuni de câţiva kilovolţi între doi electrozi (1, 2) care sunt dispuşi, izolaţi unul faţă de altul de o piesă cilindrică (3) izolatoare, într-o incintă (4) de vid, şi sunt conectaţi la un condensator (5), etapa de iniţiere a descărcării în gaz prin controlul unor comutatoare (8, 9), etapa de vidare a incintei (4), prin intermediul unei pompe (20) turbomoleculare şi al unei pompe (21) de vid preliminar, etapa de introducere a unui gaz inert, cum ar fi Ar, Xe, He sau aer, N, COsau amestecuri ale acestora, printr-un racord (26), în incintă (4), în care electrozii sunt poziţionaţi în aşa manieră în raport cu o suprafaţă (29) ce urmează a fi curăţată, încât jetul de plasmă să baleieze suprafaţa, antrenând şi înlăturând microparticulele de praf de pe aceasta.