Description:

Invenţia se referă la o metodă de construcţie 3D a micro şi nanostructurilor pe bază de siliciu şi germaniu. Metoda conform invenţiei constă în încastrarea într-un strat () metalic a unor structuri () făcute din fotopolimer, depuse pe un substrat () metalizat, şi apoi îndepărtarea structurilor () prin ardere, golurile rămase în stratul () metalic fiind umplute ulterior cu un coloid de nanoparticule de siliciu sau germaniu, după care se face o vidare uşoară, urmată de un tratament termic care duce la topirea şi agregarea nanoparticulelor care astfel ajung să formeze structurile () dorite, apoi realizându-se corodarea stratului () metalic, prin care se eliberează structurile () încastrate iniţial în stratul () metalic.