Description:

Invenţia se referă la un cip care oferă posibilitatea de a utiliza mai multe tehnici de nanolitografie cu scanarea probei, tehnici care folosesc structura de bază a unui microscop de forţă atomică, cum ar fi, de exemplu, nanolitografia de tip stilou (engl. fountain pen nanolithography), nanolitografia de tip stilou asistat optic (engl. dip pen nanolithography), oxidare locală a substratului, oxidarea locală a unui strat monomolecular etc. Cipul (1) conform invenţiei conţine mai multe cantilevere (2-7) de lucru, fiecare cantilever având de efectuat un anumit tip de prelucrare la scară micro-nano, precum cele enumerate anterior, şi mai multe cantilevere (8-12) care sunt utilizate pentru caracterizarea structurilor realizate cu ajutorul primelor cantilevere (2-7), precum şi părţile de comandă şi de control pentru fiecare cantilever în parte, respectiv, conexiunea acestora cu unitatea centrală de comandă.