PROCEDEU DE OBŢINERE A UNUI FOTODETECTOR PE BAZĂ DE MATRICE DE NANOFIRE MIEZ-COAJĂ DE TIP OXID DE CUPRU ŞI OXID DE ZINC, PREPARATE PE ELECTROZI METALICI INTERDIGITAŢI

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO133230

Date: 29.03.2019

Inventor(s):

COSTAS LILIANA ANDREEA [RO]

FLORICA CAMELIA FLORINA [RO]

PREDA NICOLETA ROXANA [RO]

EVANGHELIDIS ALEXANDRU IONUŢ [RO]

BESLEAGA STAN CRISTINA [RO]

BEREGOI MIHAELA [RO]

ENCULESCU MARIA MONICA [RO]

MATEI ELENA [RO]

DICULESCU VICTOR CONSTANTIN [RO]

ENACHE TEODOR ADRIAN [RO]

IGNAT BARSAN MĂDĂLINA MARIA [RO]

ONEA MELANIA LOREDANA [RO]

ALDEA ANCA [RO]

APOSTOL MARIANA MIHAELA [RO]

BUNEA MIHAELA CRISTINA [RO]

CRIŞAN DANIEL NICOLAE [RO]

CONSTANTINESCU MIHAI OCTAVIAN [RO]

ENCULESCU IONUŢ MARIUS [RO]

Applicant(s):
INSTITUTUL NAT DE CERCETARE DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR INCDFM [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
H01L31/18

Cooperative patent classification (CPC):
Y02P70/50 (EP)
Application info:
No.: RO20180000439
Date: 19.06.2018
Priority number(s):
RO20180000439 19.06.2018
BOPI:
Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unui fotodetector pe bază de matrice de nanofire miez-coajă, de tip oxid de cupru şi oxid de zinc, preparate pe electrozi metalici interdigitaţi, constând în fotolitografierea unor electrozi metalici interdigitaţi de Ti/Pt pe un substrat de Si/SiO, electrodepunerea unui strat de Cu pe electrozi, şi obţinerea matricelor de nanofire miez-coajă de tip oxid de cupru şi oxid de zinc prin oxidarea termică în aer a filmului de Cu, şi pulverizarea catodică cu magnetron, în radiofrecvenţă, a unui film subţire de oxid de zinc, depunerea filmului subţire de oxid de zinc făcându-se la timpi diferiţi: 7 min, 15 min şi 30 min, în vederea obţinerii a trei grosimi diferite pentru filmul de oxid de zinc, respectiv: 10 nm, 20 nm şi 30 nm.