Description:

Invenţia se referă la un procedeu de nanolitografie 2D şi 3D de tip fountain pen asistat optic. Procedeul conform invenţiei constă din depunerea unei cerneli (1) pe un substrat (4), prin intermediul unui cantilever (2) perforat, de tip fountain pen, în timpul depunerii fiind aplicat în zona de depunere un fascicul (5) optic al cărui rol este de a iniţia fotopolimerizarea cernelii (1), atunci când aceasta este fotopolimerizabilă, sau de a accelera evalorarea solventului care intră în compoziţia cernelii (1), atunci când aceasta conţine cel puţin un solvent în compoziţia ei, în ambele cazuri efectul fasciculului (5) optic fiind acela de a reduce difuzia cernelii (1) pe suprafaţa substratului (4), iar aplicarea fasciculului (5) optic este făcută în aşa fel încât să ilumineze substratul (4) în zona de depunere a cernelii (1), din cel puţin două direcţii diferite, cerneala (1) fiind furnizată, de exemplu, prin intermediul unui cip (6) microfluidic.