Description:

Invenţia se referă la o micropensetă integrată cu senzori piezorezistivi de forţă/deplasare cu dimensiuni submilimetrice, acţionată electro-termic, cu ajutorul căreia pot fi manevrate/manipulate elemente de dimensiuni micrometrice, cum ar fi celule şi ţesuturi biologice, microlentile, microcomponente ale unor microsisteme. Micropenseta conform invenţiei este constituită dintr-un suport (1) de siliciu sau orice alt material pe care vor fi fixate, pe de o parte, componenta de actuator (2) electro-termic care este acţionat electric prin intermediul a două paduri (3) metalice generând, prin încălzirea şi expansiunea materialelor actuatorului (2), o deplasare a unui braţ (4) liber activ care este susţinut de o parte de flexiune (5) a braţului (4) liber, şi, pe de altă parte, componenta de senzor (6) piezorezistiv de forţă/deplasare care este monitorizat de bornele (7) metalice şi care conţine elemente (8) piezorezistive şi un braţ (9) pasiv, adică senzorul care poate conţine o parte de flexiune (9'), astfel încât micropenseta este capabilă să manipuleze elemente la scară micrometrică.