PROCEDEU DE OBŢINERE PRIN METODA DC REACTIVE SPUTTERING A UNUI SENZOR PE BAZĂ DE FILME NANOSTRUCTURATE DE WO3 PENTRU DETECŢIA CO2

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO137408

Date: 28.04.2023

Inventor(s):

PITICESCU MIOARA ROXANA [RO]

SOBEŢKII ARCADII [RO]

CIOBOTA CRISTINA FLORENTINA [RO]

STĂNOIU ADELINA [RO]

SIMION CRISTIAN EUGEN [RO]

FLOREA OVIDIU GABRIEL [RO]

SOBEŢKII ARCADIE [RO]

VISAN MIHAI [RO]

CĂPĂTÎNĂ VALENTINA [RO]

Applicant(s):
INSTITUTUL NAT DE CERCETARE DEZVOLTARE PENTRU METALE NEFEROASE SI RARE IMNR [RO]
MGM STAR CONSTRUCT S R L [RO]
INSTITUTUL NAT DE CERCETARE DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
C23C14/08; C23C14/34

Cooperative patent classification (CPC):
Application info:
No.: RO20210000617
Date: 08.10.2021
Priority number(s):
RO20210000617 08.10.2021
BOPI:
Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unui senzor pentru detecţia CO2 la concentraţii cuprinse între 400-3000 ppm, în atmosferă de umiditate relativă RH variabilă cuprinsă între 0-50%, utilizând ca material senzitiv filme subţiri de WO3 nanostructurat cu grosimea medie de 125 nm depuse pe substraturi din alumină cu interdigiţi din aur şi încălzitor din platină prin metoda de pulverizare reactivă DC, la un vid de minim 10-3 Pa, presiunea parţială a amestecului de gaze , Ar/O2 = 60/40%, introdus în incintă 1-4 Pa, puterea de lucru a sursei 220W, viteza de rotaţie a caruselului 20 rpm, durata procesului de depunere 40 min, distanţa dintre catodul de W şi substraturi fiind de 50 mm.