Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unui senzor pentru detecţia CO2 la concentraţii cuprinse între 400-3000 ppm, în atmosferă de umiditate relativă RH variabilă cuprinsă între 0-50%, utilizând ca material senzitiv filme subţiri de WO3 nanostructurat cu grosimea medie de 125 nm depuse pe substraturi din alumină cu interdigiţi din aur şi încălzitor din platină prin metoda de pulverizare reactivă DC, la un vid de minim 10-3 Pa, presiunea parţială a amestecului de gaze , Ar/O2 = 60/40%, introdus în incintă 1-4 Pa, puterea de lucru a sursei 220W, viteza de rotaţie a caruselului 20 rpm, durata procesului de depunere 40 min, distanţa dintre catodul de W şi substraturi fiind de 50 mm.