Description:

Invenţia se referă la ţinte de pulverizare şi la filme subţiri nanostructurate, pe bază de Ag-TiO, şi la un procedeu de obţinere a acestora pe substrat de oţel inox, filmele cu proprietăţi antimicrobiene fiind folosite pentru aplicaţii medicale, cum ar fi instrumentele chirurgicale critice. Ţintele conform invenţiei sunt constituite dintr-un material ceramic sinterizat pe bază de TiOrutil dopat cu 0,4...1,6% Ag, pornind de la pulberi compozite de Ag-TiOcu un conţinut masic de 0,4...1,6% nanoparticule sferice de Ag cu diametre de 3...21 nm şi restul TiOanatas, ţintele având o puritate >99,5%, dimensiune medie de cristalit de 69...76 nm şi densitatea aparentă de 0,59...0,81 g/cm. Procedeul de obţinere ţinte de pulverizare conform invenţiei constă în sinterizarea în plasmă de scânteie în vid, timp de 3...30 min, a unor pulberi pure de TiOdopate cu 0,4...1,6% masice de nanoparticule de Ag, la o temperatură de 1100...1200°C şi presiunea de presare de 30...50 MPa, ţinta având formă de disc cu diametrul de 50,8 ± 0,1 mm şi înălţimea de 3 ± 0,1 mm, cu densitatea cuprinsă în intervalul 3,95...4,12 g/cm, microduritatea Vickers HV2/15 de 518...692, modulul lui Young de 127...156 GPa, rezistivitatea electrică de suprafaţă de 0,91...1,96 Ω /sq şi conductivitatea termică la 25°C de 3,81...5,72 W/mK. Filmele subţiri, conform invenţiei, sunt constituite dintr-un monostrat sau multistraturi uniforme şi omogene din Ag-TiOcu un conţinut masic de 0,4...1,6% Ag şi grosimea cuprinsă în intervalul 200...1000 nm. Procedeul de obţinere a filmelor subţiri, conform invenţiei, constă în pulverizarea ţintelor cu magnetron în radiofrecvenţă, pe un substrat de oţel inox austenitic de tip 316L, polizat luciu oglindă, într-o incintă de pulverizare vidată la 10Pa protejată cu Ar, cu rotirea probelor de substrat cu 30...60 rpm şi depunere timp de 20...60 min la puterea de radiofrecvenţă de 100...200 W, temperatura substratului fiind de 25...300°C.