Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unor filme nanostructurate tip reţele, formate din structuri monodisperse de oxid de zinc prin depunere chimică pentru aplicaţii în senzoristică, pentru detecţia vaporilor de amoniac, microfluidică, electronică şi optoelectronică. Procedeul conform invenţiei constă în depunerea pe plachete de siliciu conţinând electrozi metalici interdigitaţi cu suprafeţe micronice predefinite, preparate prin metoda clasică a fotolitografiei şi acoperite ulterior cu un strat metalic de Ti/Au, printr-o reacţie chimică dintre azotatul de zinc şi hexametilentetraamină, cu molarităţi egale ale componenţilor = 0,05, 0,1 şi 0,2 mM, la temperaturi de reacţie scăzute, cuprinse între 70 şi 80°C, a unor filme tip reţele, formate din structuri monodisperse dimensional de ZnO.