Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unui strat senzitiv utilizat în senzori de tip SAW pentru monitorizarea umidităţii relative.Procedeul, conform invenţiei, constă în etapele de: sinteza materialelor nanocarbonice oxidate (hidrofile) de tip ceapă (CNO) sau nanohornuri carbonice oxidate prin tratament în plasmă de apă sau oxigen, prepararea unei soluţii formată din dioxid de siliciu şi 0,5...15% masic nanohornuri carbonice oxidate şi depunerea soluţiei pe un substrat de cuarţ prin metoda spin coating, rezultând un film care se supune unui tratament termic la temperatura de 400°C timp de 30 min.