Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere, prin depunere autocatalitică, a unor arii micronice predefinite, formate din structuri de oxid de zinc care sunt utilizate pentru aplicaţii în senzoristică, senzorii putând detecta prezenţa în atmosferă a vaporilor de amoniac, în electronică şi optoelectronică. Procedeul conform invenţiei constă în obţinerea unor arii micronice predefinite pe plachete de Si/SiOprin metoda clasică a fotolitografiei, acoperirea ulterioară a acestora cu un prim film metalic de Ti cu grosimea de 10 nm, prin pulverizare catodică, peste care se depune prin metoda evaporării termice în vid un al doilea film de Au, cu o grosime de 100 nm şi în ultima etapă, prin metoda depunerii autocatalitice, peste acest strat metalic de aur, cu rol de catalizator, se depun structuri de oxid de zinc, utilizând ca reactivi azotatul de zinc şi dimetilaminoboranul, în raport molar egal cu 7, la temperaturi de reacţie scăzute, cuprinse între 70 şi 80°C.