Description:

Invenţia se referă la un dispozitiv şi la o metodă pentru obţinerea particulelor conţinând titan folosind plasmă de radiofrecvenţă generată la presiune atmosferică, cu funcţionare fie în regim continuu, fie în regim pulsat. Dispozitivul conform invenţiei este alcătuit din doi electrozi (1 şi 8), dintre care un electrod (1) este legat la masă, este confecţionat din inox, este prevăzut cu o duză (2) şi cu un sistem (3) de răcire cu apă montat în structura peretelui său, iar celălalt electrod (8) este confecţionat din titan, este prevăzut la interior cu un traseu de pătrundere a gazelor (7) de descărcare şi este conectat cu un generator de radiofrecvenţă, iar între cei doi electrozi (1 şi 8) sunt montate, coaxial, un tub (4) de cupru, un tub (5) de cuarţ şi un tub (6) de ceramică. Metoda conform invenţiei cuprinde etapele de: introducere a dispozitivului conform invenţiei în interiorul unei camere de colectare confecţionate din inox, plasarea unui substrat de colectare a particulelor pe un suport de substraturi, pomparea camerei de colectare până la aprox. 3x10-2 mbar, iniţierea plasmei, în debit de argon de 1000sccm, la o putere de 100W, urmată de oprirea pompării, creşterea presiunii până la atingerea presiunii atmosferice, unde procesul se stabilizează prin deschiderea unei supape, stabilirea puterii de radiofrecvenţă şi a modului de funcţionare: continuu sau pulsat, urmată de generarea particulelor pe bază de titan, monitorizarea procesului de sinteză şi, după 1 oră de expunere a substratului la plasmă, oprirea plasmei, aerisirea camerei de colectare şi scoaterea substratului de colectare, împreună cu particulele de titan obţinute.