Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unui material optic utilizat ca senzor pentru detecţia NO2 la temperaturi joase.Procedeul, conform invenţiei, constă în sinterizare în aer la o temperatură de 1400°C a unui amestec de oxizi din pulberi de CeO2, Yb2O3 şi Er2O3, rezultând un material ţintă care este depus sub formă de plasmă pe un substrat de siliciu monocristalin, rezultând un strat subţire pe bază de CeO2, dopat cu oxizi de Yb şi Er, de grosime 0,2...1 μ m în funcţie de timpul de depunere, având activitate optică activă şi pasivă în domeniul vizibil-infraroşu şi o sensibilitate la prezenţa unei concentaţii de 10...1000 ppm NO2 la temperaturi de 25...200°C.