Description:

Invenţia se referă la un procedeu de fabricare a unui senzor flexibil de presiune utilizat pentru aplicaţii în domeniul medical. Procedeul conform invenţiei are următoarele etape: curăţirea substratului format din folie PET în plasmă de O2, depunerea de filme subţiri de Au cu grosimea de 200 nm prin tehnica evaporării în vid, se configurează masterul canalului microfluidic folosind un fotorezist negativ SU-8 2050, se trece la fabricarea membranei de PDMS peste matriţa canalului microfluidic, cele două suprafeţe flexibile se funcţionalizează cu soluţie APTES 5% în C2H5OH timp de 20 min. pentru PDMS şi cu 5% soluţie GPTES în C2H5OH pentru folia PET timp de 3 ore, canalul microfluidic se umple cu electrolit C2H6O2 printr-unul din orificiile rezervoarelor canalului microfluidic folosind o seringă, iar în final se realizează lipirea contactelor electrice de pad - urile traductorilor pentru conectare la echipamentul de măsură.