Description:

Invenţia se referă la o metodă de obţinere a senzorilor cu unde acustice de suprafaţă SAW bazaţi pe straturi subţiri din materiale piezoelectrice ecologice de (Ba1 - xCax) (ZryTi1 - y) O3 (BCZT) obţinute prin tehnica depunerii laser pulsată pe suporturi de monocristal de titanat de stronţiu (SrTiO3), utilizaţi pentru detecţia variaţiei presiunii. Metoda conform invenţiei constă în depunerea, pe un substrat monocristal de SrTiO3, utilizând metoda depunerii laser în regim pulsat în atmosferă de oxigen la o temperatură de 700°C, a unor straturi senzitive din materiale ecologice bazate pe o soluţie solidă de titanat de bariu dopat cu Ca şi titanat de bariu dopat cu Zr.