Description:

Invenţia se referă la un procedeu de obţinere a unui transductor dual pentru detecţie electrochimică şi electronică destinat aplicaţiilor pentru determinarea analitică a compuşilor moleculari de interes biologic. Procedeul conform invenţiei este obţinut pe substraturi de Si/SiO2 utilizând fotolitografia, litografia cu fascicul de electroni, pulverizarea catodică cu magnetron în radiofrecvenţă şi evaporarea termică în vid, componenta electrochimică cuprinzând trei electrozi metalici interdigitaţi: electrodul de lucru Ti/Au, electrodul auxiliar Ti/Au şi electrodul de referinţă Ti/Ag, componenta electronică este reprezentată de un tranzistor cu efect de câmp având ca şi canal un nanofir singular semiconductor alcătuit din doi electrozi metalici interdigitaţi de Ti/Au, sursă şi drenă, poarta fiind reprezentată de substratul de Si iar dielectricul de poartă este un film subţire de SiO2.