Description:

Invenţia se referă la o metodă de operare a unei surse de clusteri bazată pe pulverizare magnetron în combinaţie cu agregarea în gaz inert a atomilor generaţi în descărcarea magnetron. Metoda conform invenţiei constă în generarea unui jet de plasmă care emerge împreună cu clusterii dintr-o sursă de clusteri şi pătrunde într-o incintă de colectare la care este ataşată sursa de clusteri. Prin această metodă, injectând un gaz reactiv în jetul de plasmă, imediat după ieşirea acestuia din sursa de clusteri, se modifică starea chimică a suprafeţei nanoparticulelor obţinute, în timpul deplasării acestora către un substrat plasat în camera de colectare. Jetul de plasmă obţinut prin această metodă este caracterizat de o temperatură redusă, ceea ce permite depunerea nanoparticulelor cu suprafaţa modificată pe materiale susceptibile la degradare termică, cum ar fi, de exemplu, polimerii.