SENZOR REZISTIV PENTRU UMIDITATE RELATIVĂ

Price not visible for this package

Interest:

Assignment

Publication info:

No.: RO135488

Date: 28.01.2022

Inventor(s):

ŞERBAN BOGDAN CĂTĂLIN [RO]

BUIU OCTAVIAN [RO]

COBIANU CORNEL [RO]

Applicant(s):
INSTITUTUL NAT DE CERCETARE DEZVOLTARE PENTRU MICROTEHNOLOGIE IMT BUCURESTI [RO]
Classification:
International patent classification (IPC):
G01N27/04

Cooperative patent classification (CPC):
Application info:
No.: RO20200000476
Date: 31.07.2020
Priority number(s):
RO20200000476 31.07.2020
BOPI:
Description:

Invenţia se referăla un senzor rezistiv pentru monitorizarea umidităţii relative prin controlul aerului în spaţii închise din industria auto, industria textilă şi a hârtiei, industria medicală, în agricultură, industria electronică, industria farmaceutică, industria chimică şi altele asemenea. Senzorul conform invenţiei este alcătuit din: 1) un substrat dielectric care este constituit din 470 μm de Si acoperit cu 1 μm de SiO2, 2) electrozi metalici care se depun pe suprafaţa substratului dielectric prin printare directă, pulverizare catodică sau evaporare în vid şi pot fi realizaţi din acelaşi material Au sau Cr sau din materiale diferite, având formă liniară sau o configuraţie interdigitată, şi 3) un strat senzitiv constituit dintr-un film subţire de nanocompozit binar precum: a) nanohornuri carbonice oxidate/ acid tanic b) materiale nanocarbonice oxidate de tip ceapă/ acid tanic sau c) nanocompozit ternar precum nanohornuri carbonice oxidate/ materiale carbonice oxidate de tip ceapă/ acid tanic, toate cele trei compoziţii având un conţinut procentual masic de material nanocarbonic cuprins între 75...95% şi sunt depuse din soluţie apoasă prin metoda "drop casting" pe substratul de Si/SiO2 cu electrozi liniari sau cu electrozi interdigitaţi.

cover