Description:

Invenţia se referă la un procedeu de realizare a unei reţele de nanoelectrozi, care poate fi utilizată ca electrod de lucru, în măsurători de voltametrie ciclică sau în diferite aplicaţii biomedicale, pentru aplicarea sau culegerea unui semnal electric. Procedeul se referă la realizarea reţelelor de nanoelectrozi pe structuri piramidale dielectrice (siliciu corodat izotropic sau anizotropic, acoperit cu un strat de oxid de siliciu termic sau nitrură de siliciu, corodată în plasmă), utilizând operaţii standard din tehnologia dispozitivelor semiconductoare. Reţeaua poate avea un număr de electrozi între 50 şi 5000, distanţa între electrozi fiind între 10 şi 50 mium. Electrozii sunt din Pt sau Au, cu grosimea de 0,2 mium, pe suport dielectric de SiO$2$ sau Si$3$N$4$, realizat pe substrat de Si. Electrozii sunt izolaţi cu SiO$2$ cu grosimea de 0,5...1 mium. ŕ