Description:

Invenţia se referă la o metodă şi la un aparat pentru măsurarea grosimii straturilor dielectrice, subţiri, depuse sau aplicate pe materiale conductoare. Metoda conform invenţiei se bazează pe utilizarea de mijloace capacitive, respectiv a unui condensator al cărui rol este acela de traductor, pentru determinarea grosimii stratului dielectric depus pe suportul metalic, a cărui peliculă trebuie să i se determine grosimea. Aparatul conform invenţiei este format din două oscilatoare electrice, dintre care unul conţine în circuitul oscilant, un condensator traductor (C s ), care are o armătură legată la masă şi al cărui rol este jucat de suportul metalic al peliculei căreia trebuie să i se determine grosimea, astfel că frecvenţa obţinută, după compunerea oscilaţiilor, poate fi folosită pentru a indica grosimea stratului dielectric cu ajutorul unui PC, dat fiind că dinamica frecvenţei, rezultată în urma compunerii oscilaţiilor produse de cele două oscilatoare, acoperă dinamica de intrare a unei plăci de sunet, permiţându-se, în acest mod, calibrarea aparatului cu ajutorul unui soft de prelucrare în timp real sau nu, a unui fişier în care a avut loc achiziţia datelor.