Description:

Invenţia se referă la un procedeu de realizare a unui biosenzor cu detecţie optică, integrat pe siliciu. Procedeul conform invenţiei constă din oxidarea termică a unei plachete de siliciu cu orientare cristalografică de tip <111>, crescându-se un strat de SiO2 până la o grosime de aproximativ 1,7 microm, depunerea prin centrifugare a unui fotorezist negativ, care va constitui miezul unui ghid de undă, aplicarea unui tratament termic specific şi aplicarea unei măşti de crom pentru definirea lăţimii miezului ghidului de undă şi stabilirea unei configuraţii de interferometru Mach-Zehnder, urmate de o depunere, prin centrifugare, de fotorezist pozitiv, care va constitui învelişul ghidului de undă, de un tratament termic specific, iar la final, de deschiderea, printr-o mască, a unei ferestre dreptunghiulare, în stratul de fotorezist pozitiv, care permite realizarea unui contact direct între un material biologic de analizat şi miezul ghidului de undă.