Description:

Invenţia se referă la un procedeu de realizare a unui element optic difractiv, care funcţionează pe bază de contrast de fază, cu două niveluri. Procedeul conform invenţiei cuprinde creşterea termică a unui strat (2) din dioxid de siliciu, pe o plachetă (1) din siliciu, urmată de etalarea unei plachete cu fotorezist de tip pozitiv (3), prin depunerea, prin centrifugare la turaţia de 1000...5000 rot/min, a unui strat cu o grosime de 1...3 nium, şi aplicarea unui tratament termic cu o durată de 40...50 min, la o temperatură de 80...90°C, apoi având loc expunerea printr-o mască (4) de crom, la radiaţie UV şi developare, şi aplicarea unui alt tratament termic, cu durată de 40...50 min, la o temperatură de 80...90°C, corodarea stratului (2) din dioxid de siliciu prin ferestrele de fotorezist, timp de 1,5...2,0 min, îndepărtarea fotorezistului rămas în soluţie de acetonă, evaluarea dimensiunilor ferestrelor corodate, cu ajutorul unui microscop electronic, pentru determinarea grosimii unui strat (5) metalic cu bune proprietăţi reflectante pentru lungimea de undă de operare a elementului optic difractiv, şi, în final, depunerea conformă a stratului metalic (5), cu ajutorul unei instalaţii de depunere cu fascicul de electroni, care să asigure creşterea controlată a dimensiunilor zonelor necorodate până la valorile dorite.