Description:

Invenţia se referă la un procedeu pentru structurarea periodică coerentă a unui strat oxidic subţire obţinut prin tratarea în faza de densificare a unui strat amorf şi dens din sol-gel. Procedeul conform invenţiei constă în depunerea unui film oxidic sol-gel cum ar fi HfO2 în stare amorfă şi densă cu o grosime de 10...200 mm pe o placă turnantă cum ar fi un substrat din wafer din siliciu, după care stratul este iradiat perpendicular pe suprafaţa sa cu radiaţia unui laser cu o fluenţă de 10 mJ/cm pătraţi cum ar fi un laser Nd-YAG, filmul obţinut fiind continuu ondulat, coerent, aderent la substrat cu o grosime de ordinul a 10 la sută din lungimea de undă laser.