Description:

Invenţia se referă la un procedeu şi la un echipament pentru explorarea in situ a capacităţii de acţionare termică a distribuţiilor compoziţionale, în vederea optimizării metodelor de cercetare a materialelor noi. Procedeul conform invenţiei constă din folosirea unui sistem de măsurare a capacităţii de acţionare a unor cantilevere dintr-o matrice, cantilevere pe care a fost depus în prealabil, prin pulverizare, un film a cărui compoziţie variază în plan perpendicular pe direcţia de pulverizare, sistemul fiind prevăzut cu câte un canal de măsurare pentru fiecare cantilever din matrice, astfel încât măsurarea capacităţii în funcţie de temperatură să poată fi realizată simultan, pentru toate cantileverele. Echipamentul folosit pentru punerea în aplicare a metodei este alcătuit dintr-un sistem (1) de depunere în vid, cu mai multe ţinte (2), pentru pulverizare catodică, prin intermediul cărora se depune un film (3) cu compoziţie variabilă, pe nişte cantilevere (8) conţinute de un substrat tip matrice (4), în timpul depunerii, temperatura substratului fiind menţinută la o valoare dorită, prin intermediul unui dispozitiv (5) de încălzire şi măsurare, fiecare cantilever (8) având depusă o peliculă (9) conductoare, pe faţa opusă celei pe care se realizează pulverizarea, astfel încât să formeze, împreună cu un electrod (10) de contact şi cu un alt electrod (11), un circuit (12) electric ce este conectat la un aparat (7) de măsurare şi înregistrare, prevăzut cu câte un canal pentru fiecare cantilever.