Description:

Invenţia se referă la un echipament pentru măsurarea rugozităţilor subnanometrice prin interferometrie de polarizare. Echipamentul conform invenţiei este alcătuit dintr-o diodă (1) laser, care emite un fascicul laser ce este dirijat de un cub divizor (2), către o prismă (3) Wollaston, care are un unghi Θ = 6°44' şi ce are rolul de a separa fasciculul incident în două fascicule care tranzitează un microscop dotat cu un ocular (4) de 12.5 x, o lentilă (5) de tub de 250 mm şi un obiectiv (6) de 12.5 x calculat pentru infinit, la ieşirea din microscop fasciculele cad pe o probă (7) de verificat, iar după reflexia pe probă (7), urmează acelaşi drum prin microscop, prismă (3) şi cub (2) divizor, fasciculul rezultat fiind dirijat spre o lentilă (10) care îl va focaliza pe o diafragmă (13), între lentilă (10) şi diafragmă (13) fiind plasate un modulator (11) de birefringenţă şi un analizor (12), fasciculul fiind apoi detectat de o fotodiodă (14) ce furnizează un curent proporţional cu fluxul incident pe ea, curent filtrat de un detector (15) sincronizare ce realizează un filtraj trece bandă şi furnizează o amplitudine a semnalului care este apoi prelucrat prin intermediul unui software ce calculează profilul diferenţial şi denivelările suprafeţei probei de verificat.