Description:

Invenţia se referă la un senzor de umiditate cu unde acustice de suprafaţă care utilizează drept straturi senzitive nanohibride ternare de tipul materialelor nanocarbonice oxifluorurate de tip ceapă/ halogenură de potasiu/ carboximetilceluloză. Senzorul conform invenţiei este constituit dintr-un substrat piezoelectric realizat din cuarţ, o pereche de traductori interdigitaţi şi un strat sensibil la umiditate constituit din nanohibride ternare de tipul materiale nanocarbonice oxifuorurate de tip ceapă/ halogenură de potasiu/ carboximetilceluloză, materialele nanocarbonice oxifluorurate de tipceapă putând fi sintetizate prin următoarele secvenţe tehnologice: 1) tratament în plasmă de apă şi tratament în plasmă de F2 - N2, 2) tratament în plasmă de F2 - N2 şi tratament în plasmă de apă, 3) tratament în plasmă de oxigen şi tratament în plasmă de F2 - N2 sau 4) tratament în plasmă de F2 - N2 şi tratament în plasmă de oxigen, materialele nanocarbonice oxifluorurate de tip ceapă găsindu-se în nanohibridul ternar în procente masice de 70...90% şi au un conţinut masic de O2 cuprins între 15...25% şi un conţinut masic de F2 cuprins între 1...5%, halogenurile de Na utilizate putând fi clorură, bromură sau iodură de Na, halogenurile de Na şi carboximetilceluloza găsindu-se în nanohibridul ternar în procente masice cuprinse între 5...15%, iar stratul senzitiv se obţineprin metoda " drop casting " sau prin metoda " spin coating " pe substraturi de cuarţ.