Descriere:

Invenţia se referă la un banc de încercare mecano-climatică pentru microsisteme în particular, pentru dispozitive MEMS, destinat activităţilor de cercetare-dezvoltare, de certificare a conformităţii şi de inspecţie a calităţii în cadrul procesului de fabricaţie a dispozitivelor MEMS. Bancul de încercare realizează o dublă solicitare, mecanică şi climatică, complexă, asupra unor dispozitive MEMS (4.1), prin aplicarea, într-un mediu de temperatură ridicată, a unor stimuli mecanici combinaţi, de tip acceleraţie, şocuri şi vibraţii, constând în efectuarea unor înclinări alternative repetate, pe două axe, simultan. Un bloc de acţionare mecanică vacuprinde un motor electric de cc al cărui ax (1.1) este antrenat într-o mişcare de rotaţie cu ajutorul unui sistem de transformare şi transmitere a mişcării de la axul (1.1) motorului electric, la un ax (1.8) de acţionare asupra dispozitivelor MEMS (4.1), sistem cuprinzând o fulie (1.2) montată pe axul (1.1) motorului care, împreună cu o roată intermediară (1.4), realizează o mişcare a turaţiei mişcării de rotaţie, o roată de comandă (1.5) acţionând o bielă (1.6), ce realizează o micşorare suplimentară a turaţiei mişcării de rotaţie, biela (1.6)şi o manivelă (1.7) realizând transformarea mişcării de rotaţie continuă într-o mişcare de rotaţie alternativă, transmisă axului (1.8) de acţionare asupra dispozitivelor MEMS (4.1). Un bloc de fixaredispozitive MEMS realizează fixarea dispozitivelor MEMS (4.1), solidar cu axul (1.8) de acţionare al bancului de încercare, permiţând totodată şi conectarea electrică a acestora la sisteme exterioarede alimentare şi de măsură. Un bloc de încălzire, ce c