Description:

Invenţia se referă la un echipament de depunere de straturi subţiri, din precursori gazoşi, prin disocierea acestora în plasma unui arc electric cu catod cald, într-un spaţiu vidat. Echipamentul conform invenţiei este alcătuit dintr-un anod (3) constituit dintr-o ţeavă de cupru şi acoperit cu un material izolator (5), cu excepţia unei mici regiuni din jurul unui orificiu (4), prin acesta limitându-se fixarea descărcării electrice numai la zona neacoperită cu izolator, prin care se introduce gazul de lucru, iar catodul este format din filamentul (1) din sârmă de wolfram sau wolfram toriat, poziţionat în centrul cilindrului Wehnelt (2), din molibden, ce focalizează electronii pe anod (3), ansamblul anod-catod şi substanţele fiind plasate în vid de 10-6 torr, plasma localizându-se deasupra anodului (3), la intersecţia între fasciculul de electroni emişi de catod şi jetul de gaz.